FCCWS051-7402系列冷水機(jī)是由FerroTec熱電事業(yè)部自主研發(fā)的壓縮機(jī)式低溫型冷水機(jī)。這款產(chǎn)品能夠滿足實(shí)驗(yàn)室研究、醫(yī)療行業(yè)、工業(yè)應(yīng)用、電子元器件、汽車、光通訊、航天航空、半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP、模具溫控等多領(lǐng)域應(yīng)用；為不同工藝步驟提供穩(wěn)定、精確的溫度控制，從而確保半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。
一、產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖
二、產(chǎn)品特性
01 溫度范圍
能夠根據(jù)客戶的具體應(yīng)用場景提供從-20℃到80℃的循環(huán)液溫度，覆蓋廣泛的工業(yè)應(yīng)用需求。
02 高精度溫度控制
內(nèi)置熱敏電阻（RTD，電阻溫度探測器）實(shí)時(shí)監(jiān)控進(jìn)出液口的循環(huán)液溫度確保在使用溫度范圍內(nèi)精度高達(dá)±0.1℃。此外，機(jī)器搭載溫度補(bǔ)償功能，能夠保證長距離輸送情況下循環(huán)液的溫度精度，提供穩(wěn)定可靠的溫度控制。
03 精確控制系統(tǒng)性能
內(nèi)置流量計(jì)和壓力傳感器（來自東京計(jì)裝），通過旁通閥精確調(diào)節(jié)循環(huán)液流量和壓力。所有實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)均可在機(jī)器屏幕上顯示，便于用戶監(jiān)控和調(diào)整。
04 高效冷卻
實(shí)驗(yàn)室測試表明：設(shè)備在輸出-20℃循環(huán)液時(shí)最高制冷量可達(dá)4kW，循環(huán)液流量可維持在25L/min，確保高效穩(wěn)定的冷卻效果。
05 智能化控制程序
設(shè)備可實(shí)現(xiàn)PID自動(dòng)調(diào)整功能，每一階溫度段都能快速達(dá)到溫度穩(wěn)定狀態(tài)。
06 遠(yuǎn)程操控
支持remote/local模式切換，客戶可以通過控制電腦直接進(jìn)行遠(yuǎn)程操控和監(jiān)測，提高管理便利性。
07 適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用場景
經(jīng)過優(yōu)化的內(nèi)部循環(huán)液管路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)長距離配管和高低落差應(yīng)用。在40米配管和高落差下，只需要1分鐘左右就能完成補(bǔ)液和空氣排氣。同時(shí)縮短了內(nèi)部管路長度，在保證機(jī)器美觀的同時(shí)提升了能量使用效率。
08 節(jié)能減排
溫控器的壓縮機(jī)和水泵均為變頻設(shè)計(jì)，可根據(jù)實(shí)際使用場景動(dòng)態(tài)調(diào)整功率，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。冷凍循環(huán)系統(tǒng)使用的冷媒為R410A，臭氧破壞系數(shù)為0。
09 高清潔度
出廠前經(jīng)過多次精細(xì)清洗，確保管路清潔無污染，客戶可直接投入使用。機(jī)器自帶過濾器，有效防止后續(xù)使用中污染物進(jìn)入客戶端，保障系統(tǒng)的長期穩(wěn)定運(yùn)行。
10 配備過濾減壓閥
設(shè)備配備了SMC的過濾減壓閥，確保在使用完成后能夠快速、徹底地排盡管路內(nèi)的循環(huán)液，簡化維護(hù)流程。
11 獲得SEMI認(rèn)證
設(shè)備通過了SEMI認(rèn)證，符合半導(dǎo)體行業(yè)對冷卻設(shè)備的高標(biāo)準(zhǔn)要求。在穩(wěn)定性、精準(zhǔn)控制、清潔度、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性等方面均表現(xiàn)出色，尤其適用于半導(dǎo)體制造、激光設(shè)備、精密儀器等高端應(yīng)用領(lǐng)域。
12 多種安全功能
設(shè)備擁有完善的安全防護(hù)結(jié)構(gòu)和功能，包括過溫保護(hù)、無液保護(hù)、低液位保護(hù)、泵過載保護(hù)、低流量保護(hù)、漏液保護(hù)、傳感器異常保護(hù)、制冷系統(tǒng)過載保護(hù)及緊急停機(jī)保護(hù)等功能，確保用戶操作的安全性和可靠性。
13 支持產(chǎn)品定制
設(shè)備內(nèi)部設(shè)計(jì)支持定制，便于實(shí)現(xiàn)客戶的實(shí)際需求，滿足不同的應(yīng)用場景。